OLYMPUS 奧林巴斯半導(dǎo)體顯微鏡BX53M

為工業(yè)和材料學(xué)應(yīng)用而設(shè)計

OLYMPUS 奧林巴斯半導(dǎo)體顯微鏡BX53M系列采用了模塊化設(shè)計，為廣泛的材料學(xué)和工業(yè)應(yīng)用提供了多樣化的解決方案。
BX53M改進(jìn)了與奧林巴斯Stream軟件的集成性，從而為常規(guī)顯微鏡檢查和數(shù)碼成像用戶提供了從觀察到報告創(chuàng)建的無縫工作流程

高級的顯微觀察 便捷的顯微操作

用戶友好性

簡單的、向?qū)降娘@微鏡操作設(shè)置，使用戶更容易進(jìn)行調(diào)節(jié)，并復(fù)制系統(tǒng)設(shè)置

功能性

BX53M為傳統(tǒng)的工業(yè)顯微鏡檢查而設(shè)計，并擴展了其功能，以滿足更廣泛的應(yīng)用和檢查技術(shù)的要求。

精密的光學(xué)元件

奧林巴斯公司具有生產(chǎn)高質(zhì)量光學(xué)元件的悠久歷史，無論用目鏡觀察，還是通過顯示器觀察，都具備*的圖像畫質(zhì)。

全面可定制性

模塊化設(shè)計可以為用戶靈活地構(gòu)建滿足其特殊要求的系統(tǒng)。

直觀的顯微鏡控制舒適而便于使用

顯微檢查任務(wù)常常需要用很長的時間來調(diào)節(jié)顯微鏡設(shè)置、獲取圖像，以及進(jìn)行必要的測量，
從而得到令人滿意的報告。用戶有時需要投入時間和金錢去完成專業(yè)的顯微鏡培訓(xùn)，或只
了解了顯微鏡全部功能的很小部分就開展工作。
BX3M通過其優(yōu)良的設(shè)計和便捷的控制功能，簡化了復(fù)雜的顯微檢查任務(wù)。用戶不需要長時
間的培訓(xùn)即可掌握顯微鏡的大多數(shù)功能。BX3M方便而舒適的操作還改善了圖像的再現(xiàn)性，
zui大程度減少了人為錯誤。

簡單的照明器：傳統(tǒng)技術(shù)易于操作

照明器的設(shè)計zui大程度減少了顯微鏡操作過程中通常所必須的復(fù)雜操作。照明器前端的旋鈕使用戶能夠輕松地改變觀察方法。操作者可以在反射光顯微鏡檢查時快速切換zui常用的觀察方法，比如從明場觀察到暗場觀察，到偏光觀察，以隨時改變不同類型的分析。此外，旋轉(zhuǎn)檢偏鏡即可調(diào)節(jié)簡單的偏光觀察。

直觀的顯微鏡控制

使用正確的孔徑光闌和視場光闌設(shè)置能夠獲得良好的圖像對比度，還可以充分利用物鏡的數(shù)值孔徑。指示標(biāo)志可引導(dǎo)用戶根據(jù)觀察方法和所用物鏡進(jìn)行正確的設(shè)置。

對焦刻度標(biāo)尺：快速找到焦點

機架上的對焦刻度標(biāo)尺支持快速鎖定焦點。操作者可以大致地對準(zhǔn)焦點，而不用通過目鏡查看樣品，從而在檢查具有不同高度的樣品時節(jié)省了時間。

針對各種檢查和分析任務(wù)的功能

保留了常規(guī)顯微鏡檢查的傳統(tǒng)襯度對比法，比如明場、暗場、偏光和微分干涉。隨著
新材料的發(fā)展，現(xiàn)在可以使用*的顯微鏡檢查技術(shù)來進(jìn)行更精確和更可靠的檢查，從而解
決了以往很多使用傳統(tǒng)襯度對比法檢查時遇到的缺陷檢測方面的困難。新的照明技術(shù)和奧林
巴斯Stream圖像分析軟件內(nèi)的圖像獲取選項為用戶提供了評估樣品、文檔記錄的更多選擇。
此外，BX3M還可用于比傳統(tǒng)型號更大、更重、更特殊的樣品。

容納豐富多樣的樣品可以容納更多的樣品類型和尺寸

新型150×100mm載物臺在X方向上提供了比以前的型號更大的行程。再加上其載物臺板的平板式設(shè)計，可以輕松地將大樣品，或多個樣品放置在載物臺上。載物臺板上開有小孔，可用于固定樣品架。更大的載物臺為用戶提供了靈活性，使他們能夠在一臺顯微鏡上檢查更多的樣品，從而節(jié)省了寶貴的實驗室空間。可調(diào)節(jié)扭力的載物臺方便了高倍下窄視野的微調(diào)定位。

樣品高度和重量的靈活性

使用選配的模塊組件可以將zui高105mm的樣品放置在載物臺上。由于改

進(jìn)了調(diào)焦機構(gòu)，因此顯微鏡可以容納zui重6kg的總重量（樣品+載物臺）。這就意味著BX3M可以檢查更大、更
重的樣品，從而減少了實驗室內(nèi)所需的顯微鏡數(shù)量。通過戰(zhàn)略性地將用于6英寸晶圓的旋轉(zhuǎn)托架放置在偏離中心的位置，在100mm行程范圍內(nèi)移動時，用戶僅旋轉(zhuǎn)晶圓托架即可觀察整個晶圓表面。優(yōu)化了載物臺的扭力調(diào)節(jié)，以便于使用，舒適的手柄使用戶更易于找到樣品的感興趣區(qū)域。

樣品尺寸大小的靈活性

如果樣品太大，難以放置在常規(guī)顯微鏡載物臺上，則可以把用于反射光顯微鏡觀察的核心光學(xué)部件組裝到一個模塊化的系統(tǒng)里。這種模塊化系統(tǒng)，就是BXFM，它可以通過一個支撐桿安裝在更大的支架上，或使用安裝托架安裝在另一臺儀器上。這就使用戶能夠充分利用奧林巴斯優(yōu)異的光學(xué)元件的優(yōu)勢，即使其樣品在尺寸或形狀上都很*。