談起來清潔度的分析，光學顯微鏡和電子顯微鏡是清潔度分析領域常用的兩種儀器，那么這兩種分析方法有什么區別呢？

從使用條件來看

光學顯微鏡的信號源是可見光，可見光的波長較長，可以輕松繞過空氣分子，因此可以在大氣環境下運行。

掃描電子顯微鏡的信號源是電子束，相對于可見光，電子束的波長更短，所以分辨率更高，圖像更清晰；不過，較短的波長，繞過空氣分子的能力將會變差，因此掃描電鏡內部會通過多級真空泵，將空氣分子抽走，以維持一定的真空度。

從測試結果來看

光學顯微鏡由于其價格低廉、操作簡單在清潔度分析領域得到廣泛應用。在光鏡下，金屬顆粒會有一定的反光，非金屬顆粒不反光，因此光鏡可以根據顆粒是否反光，來大致區分金屬和非金屬，但是局限性是光鏡無法分析出具體是哪一種類的顆粒。

掃描電子顯微鏡除了可以找到雜質顆粒外，可以分析顆粒的種類。例如：在汽車零件領域或鋰電領域能區分金屬、非金屬、纖維等。

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